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浅谈真空PVD镀膜涂层工艺
编辑:开思新材料(苏州)有限公司官网  上传时间:2021-01-04 浏览:23 次
真空PVD镀膜涂层工艺的步骤是很多客户比较想了解的问题,复合涂层厂家指出,真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤分为前处理工艺、

  真空PVD镀膜涂层工艺的步骤是很多客户比较想了解的问题,复合涂层厂家指出,真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤分为前处理工艺、镀膜工艺、后处理工艺,那么具体是怎么实施的?下面复合涂层厂家——苏州钛铬纳米技术有限公司给大家详细介绍。


  1、前处理工艺
  褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹;
  2、镀膜工艺
  抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉;
  3、后处理工艺
  清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;;
  抽真空:将真空室内的残余气体抽走;
  加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放;
  压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率;
  轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面;
  镀膜:沉积膜层;
  冷却:避免工件氧化变色
  为什么要进行冷却?
  镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
  冷却如何进行?
  1. 高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离。
  2. 当操作人员按下N2 vent按钮,预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室,当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时,N2充气阀关闭。

  3. 真空室内充入了大量N2,真空度很低,更加有利于热传导,所以降温速度比不充冷却N2时快很多,缩短冷却时间,提高生产效率,实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。


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